PZT誘電ボロメータ型温度センサ

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: PHS10017

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門 フィジカルセンサ研究会

発行日: 2010/06/17

タイトル(英語): Temperature Sensor Using PZT Dielectric-Bolometer

著者名: 藤田 孝之(兵庫県立大学),植田 浩二(兵庫県立大学),才木 常正(兵庫県立工業技術センター),神田 健介(科学技術振興機構),伊賀 友樹(兵庫県立大学),三木 省吾(兵庫県立大学),樋口 行平(科学技術振興機構),前中 一介(兵庫県立大学)

著者名(英語): Fujita Takayuki(University of Hyogo),Ueda Koji(University of Hyogo),Saiki Tsunemasa(Hyogo Prefectural Institute of Technology),Kanda Kensuke(Japan Science and Technology Agency),Iga Yuki(University of Hyogo),Miki Shogo(University of Hyogo),Higuchi Kohei(Japan Science and Technology Agency),Maenaka Kazusuke(University of Hyogo)

キーワード: 温度センサ|ＰＺＴ|ボロメータ|temperature sensor|PZT|bolometer

要約(日本語): 　PZTはセンサやアクチュエータなどに用いられる圧電材料であるが，同時に温度センサとして使用することも可能である．本研究ではスパッタ成膜したPZTを微細にドライエッチングする手法を確立し，PZTをキャパシタの誘電体とした誘電ボロメータ型温度センサの試作結果について報告する．

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 2,268 Kバイト