PZT薄膜を用いた振動型加速度センサに関する基礎研究

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: PHS10018

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門 フィジカルセンサ研究会

発行日: 2010/06/17

タイトル(英語): Basic research on vibration type acceleration sensor using PZT thin film.

著者名: 永田 和幸(兵庫県立大学),神田 健介(兵庫県立大学),伊賀 友樹((独)　JST　ERATO前中センシング融合プロジェクト),藤田 孝之(兵庫県立大学),樋口 行平((独)　JST　ERATO前中センシング融合プロジェクト),前中 一介(兵庫県立大学)

著者名(英語): Nagata Kazuyuki(University of Hyogo),Kanda Kensuke(University of Hyogo),Iga Yuki(JST ERATO Maenaka Human-sensing Fusion Project),Fujita Takayuki(University of Hyogo),Higuchi Kohei(JST ERATO Maenaka Human-sensing Fusion Project),Maenaka Kazusuke(University of Hyogo)

キーワード: ＭＥＭＳ|加速度センサ|振動型加速度センサ|ＰＺＴ|MEMS|acceleration sensor|vibratory beam accelerometer|PZT

要約(日本語): 先行研究では、振動型加速度センサの振動梁の駆動検出方法として電磁駆動を採用していた。そのため磁気回路を必要とし、デバイスサイズの大半を占めていた。本研究では、振動梁の駆動方法としてPZT薄膜による圧電駆動を検討し、デバイスの小型化を試みたので報告する。

要約(英語): To miniaturize vibratory beam accelerometer, Pb[Zr,Ti]O3 (PZT) thin-films are used as the beam structure. Bimorph multilayer PZTthin-films are sputtered and processed to work as vibratory beams. The bimorph beams realize low-voltage operations of the sensor system.The evaluations of the bimorph PZT demonstrate twice displacements as large as that of the unimorph operations. This study indicatesthat such the successful multilayer depositions of thin-film piezoelectric materials have a great potential for further integrations ofsensors and actuators systems.

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 811 Kバイト