櫛歯振動子用カリウムイオン含有酸化物エレクトレット

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: PHS10019

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門 フィジカルセンサ研究会

発行日: 2010/06/17

タイトル(英語): Potassium Ion Included SiO2 Electret for Comb Drive Actuators

著者名: 杉山 達彦(静岡大学),青山 満(静岡大学),橋口 原(静岡大学)

著者名(英語): Sugiyama Tatsuhiko(Shizuoka University),Aoyama Mitsuru(Shizuoka University),Hashiguchi Gen(Shizuoka University)

キーワード: エレクトレット|シリコン酸化膜|櫛歯振動子|Electret|SiO2|Comb Drive Actuator

要約(日本語): 駆動用直流バイアスの不要な櫛歯アクチュエータの実現を目指した酸化物エレクトレットの形成について報告する。カリウムイオンを導入した電気炉においてシリコンウェハを熱酸化させることにより、SiO2中に荷電イオンを意図的に注入した。Bias Temperature（B.T.）処理（-35 [V], 200 [℃], 80 [min]）を行ったところ、駆動電圧として十分な値である10.3 [V]の表面電位が得られた。また、逆バイアスによりB.T.処理を行ったところ、負の表面電位を得られた。

要約(英語): We report a SiO2 electret for comb-drive actuators that do not need to apply a driving voltage. The SiO2 film with potassium ions was polarized by the bias-temperature (B.T.) treatment. When the B.T. treatment voltage was -35 V and the temperature was 200 ℃, the initial surface potential was 10.3 V.

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 972 Kバイト