新しいセンサを目指したペロブスカイト関連構造を持つ酸化物薄膜の作製

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: PHS10026

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門 フィジカルセンサ研究会

発行日: 2010/06/17

タイトル(英語): Preparation of Oxide Thin Films with Perovskite-Related Structure for Future Sensors

著者名: 遠藤 和弘(金沢工業大学),Badica Petre(国立材料物理研究所),有沢 俊一(物質・材料研究機構),毛塚 博史(東京工科大学)

著者名(英語): Endo Kazuhiro(Kanazawa Institute of Technology),Badica Petre(National Institute of Materials Physics),Arisawa Shunichi(National Institute of Materials Science),Kezuka Hiroshi(Tokyo University of Technology)

キーワード: 酸化物薄膜|ペロブスカイト関連構造|ＭＯＣＶＤ法|高温超電導体|強誘電体|配向制御|Oxide Thin Film|Perovskite-Related Structure|MOCVD Method|High Tc Superconductor |Ferroelectric|Orientation Control

要約(日本語): テラヘルツ・イメージセンサや高温SQUIDなどの次世代センサ材料として期待される、ペロブスカイト関連構造を持つ酸化物薄膜をMOCVD法により作製した。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 684 Kバイト