埋込グリッド電極を用いたエレクトレット荷電法

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: PHS10028

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門 フィジカルセンサ研究会

発行日: 2010/06/17

タイトル(英語): Electret Charging Method by Using Buried Grid-Electrodes

著者名: 豊永 智彦(兵庫県立大学),中出 圭介(兵庫県立大学),藤井 孝平(兵庫県立大学),藤田 孝之(兵庫県立大学),樋口 行平(科学技術振興機構),前中 一介(兵庫県立大学)

著者名(英語): Toyonaga Tomohiko(University of Hyogo),Nakade Keisuke(University of Hyogo),Fujii Kouhei(University of Hyogo),Fujita Takayuki(University of Hyogo),Higuchi Kohei(Japan Science and Technology Agency),Maenaka Kazusuke(University of Hyogo)

キーワード: エレクトレット|荷電法|サイトップ|エナジーハーベスティング|マイクロ発電器|Electret|Charging Method|CYTOP|Energy Harvesting|Micro Power Generator

要約(日本語): 本研究では，エネルギーハーベスティングに用いるエレクトレットの新しい荷電方法について報告する．エレクトレットはコロナ放電で発生した電子を，グリッド電極と接地電極間のバイアス電圧で絶縁体に注入したものであるが，新手法では埋め込まれたグリッド電極をバイアスする事で簡易に微細な荷電パターンを実現している．

要約(英語): In this study, a novel charging method for fabricating electret of power harvesters is proposed. Electret is fabricated by using a very popular charging method “Corona discharge,” which contains a needle electrode for corona ions generation and a grid-electrode to apply a biasing voltage for corona ions implantation to CYTOP as an electret. Our charging method can be easy to obtain a fine pattern charged area, using the buried grid-electrodes instead of etching processes of an electret material. The charged surface potential of a sample fabricated by the present method is maximum 250 Vp-p, which is about four times as large as a conventional method.

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,090 Kバイト