ＭＥＭＳガスジャイロとその周辺回路に関する検討

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: PHS11001

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門 フィジカルセンサ研究会

発行日: 2011/01/13

タイトル(英語): A study of MEMS Gas Gyroscopes and their peripheral circuitry

著者名: 松木 勇介(兵庫県立大学),前中 一介(兵庫県立大学),藤田 孝之(兵庫県立大学),神田 健介(兵庫県立大学)

著者名(英語): Matsuki Yusuke(University of Hyogo),Maenaka Kazusuke(University of Hyogo),Fujita takayuki(University of Hyogo),Kanda Kensuke(University of Hyogo)

キーワード: ガスジャイロ|ＭＥＭＳ|ホットワイヤ|結晶異方性ＲＩＥ|gasgyroscope|MEMS|hotwire

要約(日本語): 我々はMEMSガスジャイロの研究を行っている。本研究ではガスジャイロのポンプ部と検出部を一体化させ、従来の循環流ではなく往復流を用いることで小型化、量産化を目指している。今回は新たに、結晶異方性ＲＩＥ法を用いた流路の形成について提案する。また検出部のホットワイヤとその駆動・検出回路についても検討している。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,366 Kバイト