スパッタPZT薄膜を用いた振動型加速度センサ

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: PHS11002

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門 フィジカルセンサ研究会

発行日: 2011/01/13

タイトル(英語): Vibration type accleration sensor using sputter PZT thin film

著者名: 永田 和幸(兵庫県立大学,科学技術振興機構 ERATO前中センシング融合プロジェクト),山川 隆洋(兵庫県立大学),伊賀 友樹(科学技術振興機構 ERATO前中センシング融合プロジェクト),神田 健介(兵庫県立大学,科学技術振興機構 ERATO前中センシング融合プロジェクト),藤田 孝之(兵庫県立大学,科学技術振興機構 ERATO前中センシング融合プロジェクト),樋口 行平(科学技術振興機構 ERATO前中センシング融合プロジェクト),前中 一介(兵庫県立大学,科学技術振興機構 ERATO前中センシング融合プロジェクト)

著者名(英語): Nagata Kazuyuki(University of Hyogo,ERATO Maenaka Human-sensing Fusion Project),Yamakawa Takahiro(University of Hyogo),Iga Yuki(ERATO Maenaka Human-sensing Fusion Project),Kanda Kensuke(University of Hyogo ERATO Maenaka Human-sensing Fusion Project),Fujita Takayuki(University of Hyogo,ERATO Maenaka Human-sensing Fusion Project),Higuchi Kohei(ERATO Maenaka Human-sensing Fusion Project),Maenaka Kazusuke(University of Hyogo,ERATO Maenaka Human-sensing Fusion Project)

キーワード: ＰＺＴ|振動型加速度センサ|PZT|Vibration type accleration sensor

要約(日本語): 我々は振動型加速度センサの研究をおこなっており、このセンサは梁の共振周波数が加速度で変化することを利用している。本研究では振動型加速度センサの小型化のために、駆動検出部にスパッタPZT薄膜を用いた振動梁を提案し評価したので報告する。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 2,527 Kバイト