振動型3軸ＭＥＭＳジャイロの試作と初期評価

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: PHS11010

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門 フィジカルセンサ研究会

発行日: 2011/02/09

タイトル(英語): Fabrication and basic characteristics of vibratory triaxial MEMS gyroscope

著者名: 前家 純二(兵庫県立大学),神田 健介(兵庫県立大学),藤田 孝之(兵庫県立大学),前中 一介(兵庫県立大学)

著者名(英語): Maeya Junji(University of Hyogo),Kanda Kensuku(University of Hyogo),Fujita Takayuki(University of Hyogo),Maenaka Kazusuke(University of Hyogo)

キーワード: ＭＥＭＳ|ジャイロスコープ|モノリシック|３軸|コリオリの力|MEMS|gyroscope|monolithic|triaxial|Coriolis force

要約(日本語): 我々はモノリシック構造で3軸の角速度検出が可能な振動型ジャイロスコープの研究を行っている。このセンサは角速度の印加により駆動共振させているマスにコリオリの力が発生，マスの変位を静電容量変化で検出する。試作したデバイスで電圧印加による駆動共振および電極間の静電容量変化を確認したので報告する。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,515 Kバイト