P(VDF/TrFE)薄膜を用いた柔軟な心拍・呼吸センサ

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: PHS11019

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門 フィジカルセンサ研究会

発行日: 2011/06/30

タイトル(英語): Heartbeat / Respiration Sensor on a Flexible Substrate Using P(VDF/TrFE) Thin Film

著者名: 塩野 祥平(兵庫県立大学),濱田 浩幸(科学技術振興機構),蒋 永剛(科学技術振興機構),樋口 行平(科学技術振興機構),神田 健介(兵庫県立大学),藤田 孝之(兵庫県立大学),前中 一介(兵庫県立大学)

著者名(英語): Shiono Syohei(University of Hyogo),Hamada hiroyuki(Japan Science and Technology Agency),Jiang Yonggang(Japan Science and Technology Agency),Higuchi Kohei(Japan Science and Technology Agency),Kanda Kensuke(University of Hyogo),Fujita Takayuki(University of Hyogo),Maenaka Kazusuke(University of Hyogo)

キーワード: Ｐ（ＶＤＦ／ＴｒＦＥ）|センサ|心拍|呼吸|ＭＥＭＳ|エッチング|P(VDF/TrFE)|sensor|heartbeat|respiration|MEMS|etching

要約(日本語): 近年、少子高齢化や生活習慣病の増加に伴い、健康に対する関心が高まっている。本研究室では、MEMS 技術を用いたセンサを開発し、集積化することで様々なデータをモニタリングし、常時健康状態を把握できるシステムの構築を目指している。本研究では、まず、圧電材料であるP(VDF/TrFE)薄膜を用いたプロセスの確立を行った。次に、柔軟基板上へのセンサ応用を検討し、心拍・呼吸センサの作製と評価を行った。

要約(英語): Recently, interest for the health rises. We develop a sensor for monitoring various data by using MEMStechnology. In this paper, a P(VDF/TrFE) thin film process was established. And the sensors on a flexiblesubstrate, such as heartbeat / respiration sensor were fabricated and evaluated.

原稿種別: 日本語

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