リング型振動子とPZT薄膜を用いた3軸ジャイロの開発

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: PHS11021

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門 フィジカルセンサ研究会

発行日: 2011/06/30

タイトル(英語): A three-axis gyroscope using a ring-shaped resonator with PZT thin-film

著者名: 荒木 隆太(住友精密工業),内納 亮平(住友精密工業),森口 孝文(住友精密工業)

著者名(英語): Araki Ryuta(Sumitomo Precision Products Co.,Ltd.),Uchino Ryohei(Sumitomo Precision Products Co.,Ltd.),Moriguchi Takafumi(Sumitomo Precision Products Co.,Ltd.)

キーワード: ジャイロ|リング型振動子|圧電|３軸|gyroscope|three-axis|ring|PZT

要約(日本語): 　リング型振動子を用いた3軸ジャイロの設計・試作評価に関する報告。リングは直径3mmの単結晶シリコン製で、上面にはPZT圧電薄膜をスパッタによって積層し、駆動及び検出素子として用いている。今回、実際に試作したサンプルを専用の評価回路を用いて測定し、3軸の角速度を検出することに成功した。リング型振動子とPZT薄膜を用いて3軸の検出に成功した事例は業界初となる。

要約(英語): This paper presents the design and test result of three-axis gyroscope with a ring-shaped resonator. PZT piezoelectric thin film, which is sputtered on the ring, is used as drive and detecting transducers. In this trial, we have succeeded to measure the angular rate for every axis with a single resonator.

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 733 Kバイト