NiCrゲージ薄膜の抵抗温度係数低減によるカンチレバー型触覚センサの高分解能化

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: PHS11022

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門 フィジカルセンサ研究会

発行日: 2011/06/30

タイトル(英語): High Resolution Tactile Sensor with Microcantilevers by Redusing TCR of NiCr-Gauge-Thin-Film

著者名: 守口 裕介(大阪大学),平嶋 大樹(大阪大学),植松 達也(大阪大学),寒川 雅之(大阪大学),金島 岳(大阪大学),奥山 雅則(大阪大学),野間 春生(国際電気通信基礎技術研究所)

著者名(英語): Moriguchi Yusuke(Oaska University),Hirashima Daiki(Osaka University),Uematsu Tatsuya(Osaka University),Sohgawa Masayuki(Osaka University),Kanashima Takeshi(Osaka University),Okuyama Masanori(Osaka University),Noma Haruo(Advanced Telecommunications Research Institute International)

キーワード: 触覚センサ|カンチレバー|熱膨張率|抵抗温度係数|エラストマ|ＮｉＣｒ薄膜|tactile sensor|cantilevercoefficient of |coefficient of thermal expansion|temperature coefficient of resistance|elastomer|NiCr thin film

要約(日本語): 傾斜した３つのマイクロカンチレバー構造を有し、垂直応力とせん断力の3軸力を同時検知できる触覚センサを開発してきたが、温度変化によるノイズやドリフトが問題であった。そこで、カンチレバーのリリースやその保護用エラストマ中埋め込みによる抵抗温度係数の変化について検討し、さらに最適組成のNiCr合金を用いることにより、センサ出力のドリフトを1/30、ノイズを1/5に低減させ、検知精度を向上させた。

要約(英語): We have developed a tactile sensor with three inclined microcantilevers which can detect tri-axial forces. In this work, changes of temperature coefficient of resistance by releasing cantilevers and embedding these in the elastomer have been investigated. Moreover, using suitable NiCr film, it is demonstrated that drift and noise of outputs can be reduced to one-thirty and one-fifth, respectively.

原稿種別: 日本語

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