櫛歯振動子への酸化膜エレクトレット形成に関する検討

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: PHS11026

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門 フィジカルセンサ研究会

発行日: 2011/06/30

タイトル(英語): Investigation of forming SiO2 Electret on Comb-drive actuator

著者名: 杉山 達彦(静岡大学),青山 満(静岡大学),鈴木 雅人(アオイ電子株式会社),橋口 原(静岡大学)

著者名(英語): Sugiyama Tatsuhiko(Shizuoka University),Aoyama Mitsuru(Shizuoka University),Suzuki Masato(Aoi Electronics Company),Hashiguchi Gen(Shizuoka University)

キーワード: エナジー・ハーベスト|エレクトレット|櫛歯振動子|Energy harvesting|Electret|Comb drive actuator

要約(日本語): エネルギー・ハーベスティングデバイスへの応用を目指した酸化膜エレクトレットの形成について報告する。カリウムイオンを導入した電気炉において櫛歯振動子を熱酸化させることにより酸化膜中に荷電イオンを意図的に注入し、その後Bias Temperature処理（ 40 [V], 300 [C ], 30 [min]）を行った。微小電気信号による応答から、狭く垂直な間隙へのエレクトレット形成を確認した。

要約(英語): The potassium ion included SiO2 film was formed on the comb-drive actuator by thermal oxidation. In order to polarize the SiO2 film, the bias-temperature (B.T.) treatment was processed to the actuator. Without applying the bias voltage, the resonance peak was observed by inputting a minute AC signal (1 [V]) in the vacuum.

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 711 Kバイト