分割型補助電極を有する静電チューニング用共振子テスト素子の設計と評価

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: PHS11027

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門 フィジカルセンサ研究会

発行日: 2011/06/30

タイトル(英語): Design and Evaluation of Resonator Test Devices with Split Auxiliary Electrodes for Electrostatic Tuning

著者名: 飯高 俊哉(千葉工業大学),水口 和彦(エドワーズ株式会社),室 英夫(千葉工業大学)

著者名(英語): Shunya Iitaka(Chiba Institute of Technology),Kazuhiko Mizuguchi(EDWARDS JAPAN LIMITED),Hideo Muro(Chiba Institute of Technology)

キーワード: 共振型センサ|静電チューニング|ＳＯＩ|ＭＥＭＳ|Resonant Sensor|Electrostatic Tuning|SOI|MEMS

要約(日本語): MEMS技術による共振型センサの研究が行われているが、これらのデバイスにおいては共振周波数変化を検出することで他のパラメータへの依存性を低減し、高分解能を得ることができる。共振周波数は製造誤差や熱応力によりずれが生じることがあり、製造後に共振周波数をチューニングするための技術が不可欠である。本研究では補助電極を有する静電共振子プロトタイプの設計・試作を行い、静電チューニング特性の評価を行った。

要約(英語): Recently the resonant sensors have been extensively studied to obtain high resolution. The resonant frequencies might deviate from the designed value due to manufacturing error or packaging stress, which requires the tuning technologies. This paper describes design and evaluation results of test devices for the electrostatic tuning fabricated by a simple SOI-MEMS process.

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 905 Kバイト