MEMSリングレーザジャイロのためのミラー作製

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: PHS12006

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門 フィジカルセンサ研究会

発行日: 2012/01/25

タイトル(英語): Fabrication of mirrors for MEMS Ring Laser Gyroscope

著者名: 牧村 賢一(兵庫県立大学),橋本 泰知(兵庫県立大学),宮本 亜聖(兵庫県立大学),笠井 一夫(JST ERATO),神田 健介(兵庫県立大学),藤田 孝之(兵庫県立大学),前中 一介(兵庫県立大学)

著者名(英語): Makimura Kenichi(University of Hyogo),Hashimoto Taichi(University of Hyogo),Miyamoto Asei(University of Hyogo),Kasai Kazuo(JST ERATO),Kanda Kensuke(University of Hyogo),Fujita Takayuki(University of Hyogo),Maenaka Kazusuke(University of Hyogo)

要約(日本語): 単結晶シリコンウエハ上に形成された光周回路によるMEMSリングレーザジャイロの実現のため，垂直方向に広いミラーの作製を行なった。ミラーは，従来報告のない1 mmという厚いシリコンウエハを使用し，DryエッチングとWetエッチングを組み合わせて作製した。この方法により，Wetエッチングのみで作製するよりも工程時間を短縮することができた。また，エッチング面はミラーとして十分利用可能な平滑面が得られた。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 20,157 Kバイト