垂直ミラーを用いた周回レーザ発振

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: PHS12011

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門 フィジカルセンサ研究会

発行日: 2012/06/11

タイトル(英語): Circulatory laser oscillation using tall mirrors

著者名: 橋本 泰知(兵庫県立大学,科学技術振興機構),牧村 賢一(兵庫県立大学,科学技術振興機構),宮本 亜聖(兵庫県立大学),笠井 一夫(科学技術振興機構),神田 健介(兵庫県立大学,科学技術振興機構),藤田 孝之(兵庫県立大学,科学技術振興機構),前中 一介(兵庫県立大学,科学技術振興機構)

著者名(英語): hashimoto taichi(University of Hyogo,JST),makimura kennichi(University of Htogo,JST),miyamoto asei(University of Htogo),kasai kazuo(JST),kanda kensuke(University of Hyogo,JST),fujita takayuki(University of Hyogo,JST),maenaka kazusuke(University of Hyogo,JST)

キーワード: ＭＥＭＳ|ミラー|半導体光増幅器|ＤＲＩＥ|異方性ウエットエッチング|MEMS|mirror|semiconductor optical amplifier|DRIE|anidotropical wet etching

要約(日本語): 1mm厚の(110)ウエハにDRIEと異方性ウエットエッチング併用することで，垂直かつ厚さ方向に広いミラーを作製した。これを応用した光周回路を形成し，周回路に囲まれた光経路において半導体光増幅器が外部共振することを確認した。この現象を利用してMEMS技術を応用したリングレーザジャイロの作製が可能であることを示す。

要約(英語): Tall mirrors of 1 mm thick are fabricated by a combination technology of DRIE and anisotropic wet-etching using (110) silicon wafer. Also, an optical loop is fabricated with the mirrors, a semiconductor optical amplifier is external oscillated in the loop. The oscillation is applicable for an MEMS ring laser gyroscope.

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 3,443 Kバイト