ウエハ貼り付け技術を用いたMEMSガイガーカウンタの試作

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: PHS12013

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門 フィジカルセンサ研究会

発行日: 2012/06/11

タイトル(英語): Fabrication of MEMS-Geiger Counter Using Wafer Bonding Technology

著者名: 宮本 亜聖(兵庫県立大学),橋本 泰知(兵庫県立大学,科学技術振興機構),牧村 賢一(兵庫県立大学,科学技術振興機構),神田 健介(兵庫県立大学,科学技術振興機構),藤田 孝之(兵庫県立大学,科学技術振興機構),前中 一介(兵庫県立大学,科学技術振興機構)

著者名(英語): miyamoto asei(University of Hyogo),hashimoto taichi(University of Hyogo,JST),makimura kennichi(University of Hyogo,JST),kanda kensuke(University of Hyogo,JST),fujita takayuki(University of Hyogo,JST),maenaka kazusuke(University of Hyogo,JST)

キーワード: ＭＥＭＳ|ガイガーカウンタ|ウエハレベルパッケージング|MEMS|geiger counter|wafer level packaging

要約(日本語): 既存のガイガーカウンタは検出部分にガイガー=ミュラー計数管(GM計数管)を使用している。本報告ではシリコン－ガラスウエハの貼り付け技術を用いることにより検出部分であるGM計数管をMEMS技術を用いて試作した。簡易な評価方法により放射線源に対して感度があることが確認できた。 研究会ではより詳細な内容を報告する。

要約(英語): The size of conventional geiger counters is large because the detectors (GM tubes: geiger muller tubes) are fabricated by mechanical processing. In this paper, an MEMS (micro electro mechanical systems) GM tube using a wafer bonding technology is proposed. The MEMS-GM tube with the glass/Si/glass stacked structure was fabricated by using anodic bonding and polymer bonding. With the supplied voltage of 2.6 kV to the MEMS-GM tube,pulse waves were observed when a radioactive material approached to the fabricated device

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 912 Kバイト