片持ち梁式ヒータと温度センサを用いた熱伝導式真空センサ

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: PHS12016

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門 フィジカルセンサ研究会

発行日: 2012/06/11

タイトル(英語): Thermally-Conductive MEMS Vacuum Sensors with Cantilever-Type Heater and Temperature Detectors

著者名: 中塚 征(千葉工業大学),室 英夫(千葉工業大学)

著者名(英語): Nakatsuka Yuku(Chiba Institute of Technology),Muro Hideo(Chiba Institute of Technology)

キーワード: 真空センサ|ＳＯＩ|ＭＥＭＳ|片持ち梁|熱伝導式|温度センサ|Vacuum sensor|SOI|MEMS|Cantilever|Thermally conductive|Temperature sensor

要約(日本語): 真空センサの小型・低価格化を狙って簡単なSOI-MEMS技術により実現できる熱伝達式真空センサの検討を行った。構成は10μm厚のSOI層から成る片持ち梁によるヒータとその先端部近傍に設置された片持ち梁式温度センサから成り、熱伝導による温度上昇を測定する。試作したプロトタイプの基本特性評価を行った結果、105Paから10-4Paまでの真空度に対し両対数グラフにおいて概略リニアな関係が得られた。

要約(英語): In order to develop compact, low-cost vacuum sensors, a thermally-conductive type MEMS sensor fabricated using a simple SOI-MEMS technology was studied. The sensor consists of cantilever-type heater and two temperature detectors which are faced to the tip of the heater. The prototype was fabricated and evaluated, resulting in a wide measurement range.

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 972 Kバイト