Cr-Nひずみセンサ薄膜の横感度と力センサ応用

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: PHS13001

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門 フィジカルセンサ研究会

発行日: 2013/01/25

タイトル(英語): Transverse sensitivity and force sensor application of strain sensitive Cr-N thin films

著者名: 丹羽 英二(電磁材料研究所)

著者名(英語): Niwa Eiji(Research institute for electromagnetic materials)

キーワード: Ｃｒ－Ｎ|感歪薄膜|ひずみゲージ|横感度|力センサ|Cr-N|strain sensitive thin film|strain gauge|transverse sensitivity|force sensor

要約(日本語): ひずみゲージがひずみと垂直方向に持つ横感度は通常非常に小さく、その配置でひずみを検出することは難しい。ところが本研究では、抵抗温度係数が小さく高い縦ひずみ感度をもつCr-N薄膜において、その横感度も大きく、ひずみ検知に関する高い位置分解能をも可能とすることを明らかにした。それを利用したカンチレバー型力センサ応用についても述べる。

要約(英語): We have developed a Cr-N alloy thin film, which is expected as a new strain gauge material in the next generation. We have investigated the large transverse sensitivity of the Cr-N thin films and their force sensor application with high positional resolution.

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 360 Kバイト