埋め込み型エレクトレットに於ける帯電過程のその場観察と高電圧帯電に関する検討

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: PHS13027

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門 フィジカルセンサ研究会

発行日: 2013/08/09

タイトル(英語): In-situ observation of charging process in embedded type electret and investigation of high voltage charging

著者名: 芝田 泰(静岡大学),杉山 達彦(静岡大学),橋口 原(静岡大学)

著者名(英語): Shibata Yasushi(Shizuoka University),Sugiyama Tatsuhiko(Shizuoka University),Hashiguchi Gen(Shizuoka University)

キーワード: エレクトレット|櫛歯振動子|エネルギーハーベスト

要約(日本語): 櫛歯振動子の垂直狭隙電極に形成したカリウムイオン含有シリコン酸化膜をBias-Temperature処理してエレクトレット化する過程に於いて、電極間の静電容量をモニタリングすることによりその帯電過程を観察した。また、エレクトレット形成した振動子の帯電電圧確認方法として帯電電圧を打ち消す極性の電圧を振動子に印加して振動子の変位を観察することで帯電電圧を測定し、高電圧帯電に関する検討を行った。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,741 Kバイト