Cr-Nひずみゲージ薄膜のトルクセンサ応用

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: PHS13032

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門 フィジカルセンサ研究会

発行日: 2013/08/09

タイトル(英語): Torque sensor application of strain sensitive Cr-N thin films

著者名: 丹羽 英二(電磁材料研究所),佐々木 祥弘(電磁材料研究所),黒木 義博(トヨタ自動車),小坂 雄介(トヨタ自動車)

著者名(英語): Niwa Eiji(Research Institute for Electromagnetic Materials),Sasaki Yoshihiro(Research Institute for Electromagnetic Materials),Kuroki Yoshihiro(Toyota Motor Corporation),Kosaka Yusuke(Toyota Motor Corporation)

キーワード: Ｃｒ－Ｎ|感歪薄膜|ひずみゲージ|トルクセンサ|Cr-N|strain sensitive thin films|strain gauge|torque sensor

要約(日本語): Cr-Nひずみセンサ薄膜は温度に対し安定で感度も高いことから、高い感度と剛性が要求される人支援ロボットの関節用トルクセンサへの応用を検討している。薄膜の場合、搖動型トルクセンサにおいてはトルク方向に平行な面でのひずみ計測が有利であり、それによって高感度、高剛性のトルクセンサを試作することができた。しかしCr-N薄膜のひずみ感度は等方的であるため、横方向の応力は問題となる。その点の検証を行った。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 2,412 Kバイト