表面ドープとサイドドープを用いた６軸応力センサの設計

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: PHS13034

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門 フィジカルセンサ研究会

発行日: 2013/08/09

タイトル(英語): Analysis on Tensor Sensor using Piezo-resistive Beams with Surface-doping and Sidewall-doping

著者名: 孫 健(東京大学大学院),野田 堅太郎(東京大学大学院),高畑 智之(東京大学大学院),松本 潔(東京大学大学院),下山 勲(東京大学大学院)

著者名(英語): Sun Jian(The University of Tokyo),Noda Kentaro(The University of Tokyo),Takahata Tomoyuki(The University of Tokyo),Matsumoto Kiyoshi(The University of Tokyo),Shimoyama Isao(The University of Tokyo)

キーワード: テンソル|センサ|ＭＥＭＳ|ピエゾ抵抗|サイドドープ|シミュレーション|tensor|sensor|MEMS|piezo-resistive|sidewall-doping|simulation

要約(日本語): 固体内部の一点の応力の6軸成分を測れる2mm角のMEMS応力センサを提案する．このセンサは表面と側面にピエゾ抵抗層を形成した6組のビーム構造を持つ．このセンサを物体中に埋め込み，各ビームは物体とともに変形し，抵抗値の変化を通して物体内部の応力を検出する．外力を加えた際に各ビームに生じる歪を有限要素法によって解析し，独立に応力の6軸成分を検出できることを確認した．

要約(英語): This paper reports about the analysis on a tensor sensor using piezo-resistive beams by surface-doping and sidewall-doping. The sensor can detect all the 9 components of the tensor by measuring the resistance change of the beams. The analysis is based on the simulation of a model sensor chip with six sensing structures, three of which measure three orthogonal normal stresses and the other three structures measure six orthogonal shear stresses.

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 955 Kバイト