圧電ダイアフラム型超音波センサのポーリングによる感度変化とその面内応力の影響

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: PHS13035

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門 フィジカルセンサ研究会

発行日: 2013/08/09

タイトル(英語): Sensitivity modification of piezoelectric diaphragm-type ultrasonic microsensors by poling and influence of in-plane stress

著者名: 山下 馨(京都工芸繊維大学),田中 光(京都工芸繊維大学),森本 篤(京都工芸繊維大学),楊 藝(京都工芸繊維大学),野田 実(京都工芸繊維大学)

著者名(英語): Yamashita Kaoru(Kyoto Institute of Technology),Tanaka Hikaru(Kyoto Institute of Technology),Morimoto Atsushi(Kyoto Institute of Technology),Yang Yi(Kyoto Institute of Technology),Noda Minoru(Kyoto Institute of Technology)

要約(日本語): 逆圧電応力により共振周波数可変とする圧電ダイアフラム型超音波センサを開発している。圧電体として用いているPZTは強誘電体であるためポーリングにより感度の向上が期待でき，実際にポーリングによる感度変化は強誘電性分極ヒステリシスと同様の傾向を示した。しかし，共振周波数制御のために逆圧電応力を印加すると，感度特性に分極ヒステリシスから外れた特性が見られた。この変化について面内応力の観点から考察を行う。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,101 Kバイト