多層グラフェンを用いたＭＥＭＳ共振器の作製と質量計測

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: PHS14021

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門 フィジカルセンサ研究会

発行日: 2014/05/28

タイトル(英語): Fabrication of multi-layer graphene based MEMS resonator for mass sensing applications

著者名: 髙橋 一浩(豊橋技術科学大学),大橋 亮太(豊橋技術科学大学),石田 誠(豊橋技術科学大学),澤田 和明(豊橋技術科学大学)

著者名(英語): Takahashi Kazuhiro(Toyohashi University of Technology),Ohashi Ryota(Toyohashi University of Technology),Ishida Makoto(Toyohashi University of Technology),Sawada Kazuaki(Toyohashi University of Technology)

キーワード: ＭＥＭＳ共振器|多層グラフェン|質量センサ|共振周波数

要約(日本語): 本研究ではＭＥＭＳ共振器を用いた質量センサの高感度化を目指し、多層グラフェン膜を用いた共振器の検討を行った。犠牲層として用いるシリコン酸化膜上に転写した多層グラフェン膜を酸素プラズマによってパターニングし、フッ酸によって30 m角のグラフェン膜をリリースした。グラフェン膜と基板間に交流信号を印加し、共振周波数は110 kHz付近にあることを観測した。また質量変化に対する応答を測定するため、グラフェン膜上にFIBを用いて100 pgのPtを堆積し、20 kHzの共振周波数変化を得ることができ、原理検証に成功した。

要約(英語): This paper presents a multilayer graphene-based resonant MEMS mass sensor for improvement of the mass sensitivity. The resonance peak of the graphene resonator was found at 110 kHz. After deposition of 100-pg-Pt on the graphene membrane using focused ion beam, resonant frequency was found at 90 kHz due to the mass loading.

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,169 Kバイト