単一細胞熱計測のための真空封止を用いたpnダイオード型微小熱センサ

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: PHS14022

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門 フィジカルセンサ研究会

発行日: 2014/05/28

タイトル(英語): PN diode thermal microsensor using vacuum package for heat measurement of single-cell

著者名: 山田 泰斗(東北大学),猪股 直生(東北大学),小野 崇人(東北大学)

著者名(英語): Yamada Taito(Tohoku University),Inomata Naoki(Tohoku University),Ono Takahito(Tohoku University)

キーワード: 熱センサ|ＰＮダイオード|マイクロ流体チップ|thermal sensor|PN diode|microfluidic chip

要約(日本語): 本研究では単一細胞の微小熱計測を目的とし,pnダイオード型熱センサを用いた高感度熱計測デバイスの設計,作製,評価を行った.マイクロ流路チップ内部に設けた真空領域に熱センサの一部を封入することで熱損失を低減することに成功した．電流値の温度依存性を用いたこのセンサの分解能を評価したところ，温度分解能は1.7mK，熱分解能は383.4nWであった.以上より単一細胞の熱計測の実現可能性を示すことができた.

要約(英語): In this paper, a highly sensitive thermal microsensor based on pn junction was developed and evaluated. The principle of the sensor relies on temperature dependence of pn junction.The thermal resolutions of 383.4nW, 31.3pJ were achieved. Our device could be improved in its size and heat loss, therefore, the feasibility to reach the thermal resoution of pW order was indicated.

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,244 Kバイト