赤外センサ用光学材料の耐雨滴性能向上を目的としたカーボン系保護膜の開発

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: PHS14030

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門 フィジカルセンサ研究会

発行日: 2014/12/19

タイトル(英語): Development of a-C:H Protection Films for Raindrop Impact

著者名: 池永 訓昭(金沢工業大学),佐野 雅彦(日本電気),松井 康浩(金沢工業大学),斉藤 博嗣(金沢工業大学),杉本 康弘(金沢工業大学)

著者名(英語): Ikenaga Noriaki(Kanazawa Institute of Technology),Sano Masahiko(NEC Corporation),Matsui Yasuhiro(Kanazawa Institute of Technology),Saito Hiroshi(Kanazawa Institute of Technology),Sugimoto Yasuhiro(Kanazawa Institute of Technology)

キーワード: 光学ウインドウ|赤外線|保護膜|ＤＬＣ膜|耐雨滴

要約(日本語): 屋外で使用する赤外線センサ用光学ウィンドウの保護膜として赤外光に対して透過性があるDLC膜の応用を検討した．DLC膜は高硬度であるため耐傷性に優れていることは知られており，工具や金型などの保護膜として実績のあるカーボン系薄膜である．本研究では模擬雨滴をDLC膜に衝突させたときの膜の損傷を調べることで，赤外線センサーウィンドウの耐雨滴保護膜として可能性を検討した．

要約(英語): We examine the application of infrared-transparent a-C:H films to protective coating for infrared sensor window. The a-C:H films are well known protective film for a tool and a die in industrial fields, because the film has high hardness and low friction. In this study, we discuss the probability of protective coating for infrared sensor window by evaluating the damage to a-C:H film when the simulated raindrop impacted to the a-C:H film.

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,194 Kバイト