超音波マイクロセンサ用圧電ダイアフラム構造の受信振動モード解析

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: PHS15009

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門 フィジカルセンサ研究会

発行日: 2015/03/18

タイトル(英語): Vibration mode analysis of piezoelectric diaphragms for ultrasonic microsensors

著者名: 山下 馨(京都工芸繊維大学),西海 太貴(京都工芸繊維大学),田中 光(京都工芸繊維大学),荒井 開人(京都工芸繊維大学),野田 実(京都工芸繊維大学)

著者名(英語): Kaoru Yamashita(Kyoto Institute of Technology),Taiki Nishiumi(Kyoto Institute of Technology),Hikaru Tanaka(Kyoto Institute of Technology),Kaito Arai(Kyoto Institute of Technology),Minoru Noda(Kyoto Institute of Technology)

キーワード: ダイアフラム|振動モード|圧電体|超音波センサ|diaphragm|vibration mode|piezoelectric|ultrasonic sensor

要約(日本語): 圧電型超音波マイクロセンサのダイアフラムについて，パルス超音波を受信した際に誘起される振動モードを解析した。圧電センサではダイアフラムに誘起される面内応力に比例する出力が得られるため，振動モード形状に合わせた電極配置が重要である。まず，レーザドプラ振動計によりパルス超音波受信時のダイアフラムの減衰振動波形を計測し，多点計測結果から非定常振動での振動モードを得る手法を提案する。次に同測定方法による測定結果から，ダイアフラムの形状による振動モードの違いを議論する。

要約(英語): Vibration modes of piezoelectric diaphragms for ultrasonic microsensors have been investigated. Piezoelectric sensors generate their output voltage in proportion to the in-plane strain in the diaphragms and vibration mode shapes are important for highly sensitive sensor structures. A laser Doppler vibrometry for vibration modes in transient damping vibration has been firstly proposed. The measured vibration modes depending on the diaphragm shapes have been discussed.

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 4,293 Kバイト