センシング応用に向けた非鉛強誘電体薄膜の開発

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: PHS15010

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門 フィジカルセンサ研究会

発行日: 2015/03/18

タイトル(英語): Development of lead-free ferroelectric thin films for sensor applications

著者名: 吉村 武(大阪府立大学),藤村 紀文(大阪府立大学)

著者名(英語): Takeshi Yoshimura(Oaka Prefecture University),Norifumi Fujimura(Oaka Prefecture University)

キーワード: 強誘電体|圧電|薄膜|非鉛|ドメインエンジニアリング|ferroelectric |pieoelectric|thin films|lead free|domain engineering

要約(日本語): 強誘電体は様々な物理量を単純な機構で電気信号に変換することが可能であり、広く用いられている。我々は応用対象を特定し、性能指数(FOM)に基づいた強誘電体薄膜の開発に取り組んでいる。大きな自発分極と小さな比誘電率を有するBiFeO3に着目し、微構造制御による特性向上方法を見出した。

要約(英語): We have developed ferroelectric thin films for sensing applications based on the figure of merits. Improvement of piezoelectric properties of BiFeO3 films will be presented.

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,649 Kバイト