ガウシアン形状ATカット水晶振動子の質量応答特性の評価

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: PHS15033

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門 フィジカルセンサ研究会

発行日: 2015/07/02

タイトル(英語): Evaluation of mass response characteristics of Gaussian-shaped AT-cut quartz crystal resonator

著者名: 轡田 浩規(新潟大学),渡辺 将(新潟大学),気谷 裕樹(新潟大学),寒川 雅之(新潟大学),安部 隆(新潟大学)

著者名(英語): Hiroki Kutsuwada(Niigata University),Sho Watanabe(Niigata University),Yuki Kitani(Niigata University),Masayuki Sohgawa(Niigata University),Takashi Abe(Niigata University)

キーワード: 水晶振動子|微粒子|反応性イオンエッチング|質量計測|Quartz crystal resonator|Microparticle|RIE|Mass measurement

要約(日本語): ATカット水晶振動子の表面形状と電極上での質量応答分布や感度の関係について基礎的検討を行った．ガウシアン形状振動子における感度増幅などの基礎的なデータが得られ，各種微粒子の質量計測への応用が期待される．

要約(英語): In this work, the mass response distribution and the sensitivity on the electrode of quartz resonator are presented for various shapes of AT-cut quartz crystal resonator. Interestingly, the sensitivity amplification in the Gaussian-shaped resonator was observed. This resonator is expected to apply for the mass measurement of the various microparticles.

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,343 Kバイト