ジルコニアベースCr-N薄膜ひずみゲージ

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: PHS15035

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門 フィジカルセンサ研究会

発行日: 2015/07/02

タイトル(英語): Zirconia based Cr-N thin film strain gauge

著者名: 丹羽 英二(電磁材料研究所)

著者名(英語): Eiji Niwa(Research Institute for Electromagnetic Materials)

キーワード: Ｃｒ－Ｎ|薄膜|ひずみゲージ|ジルコニア|Cr-N|thin film|strain gauge|zirconia

要約(日本語): 歪感度が大きなCr-N薄膜を接着して使用するひずみゲージに応用するために、ジルコニアを基板とするCr-N薄膜ひずみゲージの試作と評価を行った。30～200μmの異なる厚さの基板において、いずれも薄膜のクラックや剥離ならびに基板の反りなど問題は生じなかった。また、基板の厚さが約80μｍ以下であれば拘束効果およびクリープによる出力損失の小さい、高感度なひずみゲージを提供できることがわかった。

要約(英語): Fabrication and evaluation of Cr-N thin film strain gauges using a zirconia thin plate as a substrate were investigated. There are no crack in the film of the fabricated samples. The author has found out that high performance strain gauges were obtained as the substrate thickness under 80μm.

原稿種別: 日本語

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