ゾル・ゲルPZT薄膜の応力制御による超音波マイクロセンサの高感度化ダイアフラム撓み構造の形成

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: PHS15036

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門 フィジカルセンサ研究会

発行日: 2015/07/02

タイトル(英語): Buckled diaphragm structures for highly sensitive ultrasonic microsensors by stress control of sol-gel derived PZT films

著者名: 西海 太貴(京都工芸繊維大学),荒井 開人(京都工芸繊維大学),山下 馨(京都工芸繊維大学),田中 光(京都工芸繊維大学),野田 実(京都工芸繊維大学)

著者名(英語): Taiki Nishiumi(Kyoto Institute of Technology),Kaito Arai(Kyoto Institute of Technology),Kaoru Yamashita(Kyoto Institute of Technology),Hikaru Tanaka(Kyoto Institute of Technology),Minoru Noda(Kyoto Institute of Technology)

キーワード: 超音波センサ|応力|感度|座屈|ゾル・ゲル法|ダイアフラム|ultrasonic sensor|stress|sensitivity|buckling|sol-gel method|diaphragm

要約(日本語): 我々はゾル・ゲル製膜によるPZTを用いたダイアフラム型超音波マイクロセンサを開発している。ダイアフラムが上向き撓み構造を持つと高感度となることが分かっており，自動的に高感度側へ座屈させるプロセスを開発した。今回ゾル・ゲル法における仮焼成温度がPZT膜の応力に影響することを期待しダイアフラムの撓み形状制御を試みた。最適な焼成温度を選択することにより100％のダイアフラムで十分な高感度化撓みを得た。

要約(英語): We have developed ultrasonic microsensors with sol-gel derived PZT films on diaphragm structures and they yield high sensitivity on upward buckling.The buckling was controlled by stress change of PZT through calcination temperature in the sol-gel process. The optimized temperature yielded large enough buckling deflection for the high sensitivity.

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,330 Kバイト