カリウムイオンエレクトレットを用いた低電圧駆動双安定MEMSアクチュエータの提案

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: PHS15039

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門 フィジカルセンサ研究会

発行日: 2015/07/02

タイトル(英語): Proposal for a low voltage operation bi-stable MEMS actuator used by the potassium ion electret technique

著者名: 藤田 康秀(静岡大学),杉山 達彦(静岡大学),橋口 原(静岡大学)

著者名(英語): Yasuhide Fujita(Shizuoka University),Tatsuhiko Sugiyama(Shizuoka University),Gen Hashiguchi(Shizuoka University)

キーワード: エレクトレット|櫛歯アクチュエータ|カリウムイオン|electret|comb-drive actuator|potassium ion

要約(日本語): カリウムイオンエレクトレットを用いた双安定MEMSアクチュエータを提案する。本アクチュエータにはエレクトレット電位を伴う3端子櫛歯アクチュエータを採用する。今回の講演では2点の双安定箇所の間をスイッチングするための最小駆動電圧に焦点を当て，理論と実験結果についての発表を行う。

要約(英語): A bi-stable MEMS actuator functioned by the Potassium ion electret technique will be presented. We utilize a three-terminal comb-drive actuator with a electret potential. In this presentation, the theory and an experimental result will be explained emphasizing the minimum operation voltage of the switching between two bi-stable positions.

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,323 Kバイト