光学窓材料の耐雨滴性能向上を目的としたカーボン系保護膜の開発

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: PHS15057

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門 フィジカルセンサ研究会

発行日: 2015/11/20

タイトル(英語): Development of a-C:H protective films for the purpose of raindrop performance improvement on optical window

著者名: 池永 訓昭(金沢工業大学),佐野 雅彦(日本電気),松井 康浩(金沢工業大学),斉藤 博嗣(金沢工業大学),杉本 康弘(金沢工業大学)

著者名(英語): Noriaki Ikenaga(Kanazawa Institute of Technology),Masahiko Sano(NEC),Yasuhiro Matsui(Kanazawa Institute of Technology),Hiroshi Saito(Kanazawa Institute of Technology),Yasuhiro Sugimoto(Kanazawa Institute of Technology)

キーワード: ＤＬＣ膜|赤外線センサウィンドウ|耐雨滴性|a-C:H film|infrared sensor window|raindrop performance

要約(日本語): 屋外で使用する赤外線センサ用光学ウィンドウの保護膜として赤外光に対して透過性があるDLC膜を開発している．これまでにDLCコーティングしたSi基板に模擬雨滴を衝突させた時の損傷を調べることでその有用性を明らかにするとともに，保護膜として有用なDLC膜の剥離強度には閾値があることを見出してきた．今回，成膜プロセスに酸素を添加することで，可視光領域におけるDLC膜の可視光透過率を改善した．

要約(英語): We examine the application of infrared-transparent a-C:H films to protective coating for infrared sensor window. We demonstrated the probability of protective coating for infrared sensor window by evaluating the damage to a-C:H film when the simulated raindrop impacted to the a-C:H film. And the a-C:H film has threshold value of adhesion strength as overcoat. In this time, optical transmittance of a-C:H films in optical range (300nm-800nm) was improved by adding oxygen to plasma during deposition process.

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,379 Kバイト