カリウムイオンエレクトレットの帯電機構と耐久性についての検討

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: PHS15061

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門 フィジカルセンサ研究会

発行日: 2015/11/20

タイトル(英語): Investigation of the charging mechanism and long-term stability for the potassium ion electret film

著者名: 下村 典子(静岡大学),中曽根 大稀(静岡大学),藤田 康秀(静岡大学),石橋 和徳(鷺宮製作所),杉山 達彦(静岡大学),橋口 原(静岡大学)

著者名(英語): Noriko Shimomura(Shizuoka university),Daiki Nakasone(Shizuoka university),Yasuhide Fujita(Shizuoka university),Kazunori Ishibashi(Saginomiya Seisakusho,inc.),Tatsuhiko Sugiyama(Shizuoka university),Gen Hashiguchi(Shizuoka university)

キーワード: エレクトレット|櫛歯アクチュエータ|アルカリイオン|electret|comb-drive actuator|alkali ion

要約(日本語): 表層にカリウムイオン含有シリコン酸化膜を形成したシリコン電極を対向電極とし、電極間に電圧を印加することでエレクトレット化した。表面電位を観察したところ、陽極側に負の電位が発生していることが分かった。その帯電機構に関して検討を行った。また、エレクトレットを形成した二端子櫛歯アクチュエータを用いて、昇温試験で耐久性の検討を行った。-1dB時点を寿命とすると3万年以上の耐久性があることがわかったので報告する。

要約(英語): We will report a model of the charging mechanism for the potassium ion electret film and also show a result of acceleration test to demonstrate long-term stability of the electret film. We found that estimation of -1bB life time is over 30000 years that is compatible for conventional electret films.

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,028 Kバイト