高周波キャリア型薄膜磁気センサを用いた微粒子異物の検出

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: PHS16015

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門 フィジカルセンサ研究会

発行日: 2016/06/30

タイトル(英語): Study on detection of magnetic small particle using high-frequency carrier-type thin film magnetic sensor with subjecting to strong normal field

著者名: 中居 倫夫(宮城県産業技術総合センター)

著者名(英語): Tomoo Nakai(Industrial Technology Institute, Miyagi Prefectural Government)

キーワード: 磁気センサ|薄膜|微粒子異物|法線磁場|磁気インピーダンス|magnetic sensor|thin film|small particle|normal magnetic field|magneto-impedance

要約(日本語): 高周波キャリア型薄膜磁気センサとこれを用いたセンシング領域に1000ガウス以上の膜面法線方向磁場を印加して数十マイクロメートルの微小異物を検出する手法について報告する。印加磁場で磁化された微粒子をセンサ素子に近接させて検出する際に，微粒子が発生する磁場がセンサ素子に局部的に影響する効果をモデル化して，検出限界や不感帯の存在などを考察した内容を報告する。

要約(英語): This report shows an experimental result and numerical estimation of detection of small magnetic particle with subjecting to strong normal magnetic field using thin film GMI sensor.

原稿種別: 英語

PDFファイルサイズ: 1,516 Kバイト