各種基板材料上に成膜したカーボン薄膜の耐雨滴性能評価

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: PHS16056

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門 フィジカルセンサ研究会

発行日: 2016/11/25

タイトル(英語): Evaluation of protective performance for raindrop impact in a-C:H films deposited on various substrate materials

著者名: 池永 訓昭(金沢工業大学)

著者名(英語): Noriaki Ikenaga(Kanazawa Institute of Technogogy)

キーワード: 赤外線センサウインドウ|保護膜|ＤＬＣ膜|Infrared sensor window|Protection films|Diamond Like Carbon

要約(日本語): 屋外で使用する赤外線センサ用光学ウィンドウの保護膜として赤外光に対して透過性があるDLC膜を開発している．これまでにDLCコーティングしたSi基板に模擬雨滴を衝突させた時の損傷を調べることでその有用性を明らかにするとともに，DLC膜の耐雨滴性能には基板の硬度が関係していることを見出してきた．今回，種々の基板材料上にDLC膜を成膜し，その耐雨滴性能を評価した．

要約(英語): We examine the application of infrared-transparent a-C:H films to protective coating for infrared sensor window. We demonstrated the probability of protective coating for infrared sensor window by evaluating the damage to a-C:H film when the simulated raindrop impacted to the a-C:H film. And the adhesion strength of the a-C:H films had relationship with substrate hardness. In this time, the a-C:H films deposited on various substrate materials, and evaluated the protective performances for raindrop impact.

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 704 Kバイト