高温域のゲージ率に及ぼすCr薄膜への第2元素添加の影響

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: PHS17005

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門 フィジカルセンサ研究会

発行日: 2017/03/02

タイトル(英語): Influence of second element addition on gauge factor of Cr thin films in high temperature range

著者名: 丹羽 英二(電磁材料研究所)

著者名(英語): Eiji Niwa(Research Institute for Electromagnetic Materials)

キーワード: ひずみセンサ|ゲージ率|高温|Ｃｒ薄膜|strain sensor|gauge factor|high temperature|Cr thin film

要約(日本語): 近年、内燃機関、射出成型、各種プラント関連などにおいて高温での力学量検知に安定使用可能な高感度なひずみセンサが強く要望されている。そこでひずみに対する感度を示すゲージ率（Gf）が室温において大きなCrに第2元素を添加して調べた結果、MnまたはAlの添加によって250～450℃の高温域で6以上、特にMn添加の場合、400℃において12という大きなGfが得られた。それらの結果について報告する。

要約(英語): The author investigated gauge factors (Gf) of the second element added Cr thin films in high temperature range. Addition of Al or Mn made the Gf large in high temperature range. Especially, a Cr thin film added Mn showed high Gf of 12 at 400℃.

原稿種別: 日本語

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