ZnO単結晶層のスパッタ成長とUV応答特性の検討

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: PHS17014

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門 フィジカルセンサ研究会

発行日: 2017/06/29

タイトル(英語): Growth of ZnO single crystalline layer by sputtering method and investigation of its response characteristics to UV

著者名: 信太 智貴(東京電機大学大学院),小倉 康平(東京電機大学大学院),水野 愛(東京電機大学),安藤 毅(東京電機大学),篠田 宏之(東京電機大学),六倉 信喜(東京電機大学)

著者名(英語): Tomoki Shinta(Tokyo Denki University),Kohei Ogura(Tokyo Denki University),Ai Mizuno(Tokyo Denki University),Ki Ando(Tokyo Denki University),Hiroyuki Shinoda(Tokyo Denki University),Nobuki Mutsukura(Tokyo Denki University)

キーワード: ＵＶセンサ|ＺｎＯ|スパッタエピタキシー|単結晶層|半導体デバイス|UV sensor|zinc oxide|spatter epitaxy|single crystalline layer|semiconductor device

要約(日本語): 本研究ではUVに高感度に応答するセンサデバイスを目的として，スパッタ法によりZnO単結晶層の成長を行い，その電気的特性の測定を行った．また，そのZnO単結晶層のUV応答特性を検討し，高感度なUVセンサとして応用可能であることを示した．

要約(英語): We grew ZnO single crystalline layer by spattering method and measured its electric characteristics. Moreover, we investigated its response characteristics to UV for applying it to UV sensor.

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,047 Kバイト