高湿度・結露環境に向けた熱型絶対湿度センサの検討

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: PHS17016

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門 フィジカルセンサ研究会

発行日: 2017/06/29

タイトル(英語): Studies on Thermal Absolute Humidity Sensor for High Humidity and Condensation Environments

著者名: 豊島 克久(東京都立産業技術研究センター)

著者名(英語): Katsuhisa Toshima(Tokyo Metropolitan Industrial Technology Research Institute)

キーワード: マイクロヒータ|湿度センサ|熱伝導式センサ|結露環境|ホットワイヤ|人工呼吸器|microheater|humidity sensor|thermal conductivity sensor|condensation environment|hot wire|ventilator

要約(日本語): 基板および流路の加熱が可能な熱伝導式絶対湿度センサを提案する。結露により水滴が流路に浸入しても、基板ヒータ並びに流路に設けたブリッジヒータにより除去できると考えている。そのため、本センサは人工呼吸器用湿度センサのような結露環境での応用が期待される。熱伝導式センサとしては、Ｐｔホットワイヤを用いて試作を行い、絶対湿度センサとしての基本特性を確認した。

要約(英語): The author presents a thermal conductivity absolute humidity sensor whose substrate and its channel can be heated. Water droplets getting into the channel due to condensation can be removed by the substrate heater and the bridge heater setting in the channel. Thus this sensor is expected to be applied in condensation environment, such as a humidity sensor for medical ventilator.

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,300 Kバイト