ローレンツ力を用いたＭＥＭＳ磁気センサの作製と評価

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: PHS17017

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門 フィジカルセンサ研究会

発行日: 2017/06/30

タイトル(英語): Fabrication and Evaluation of Lorentz-force Resonant Magnetic Sensor

著者名: 月山 元貴(兵庫県立大学),氏家 朱理(兵庫県立大学),廣田 朝地(兵庫県立大学),神田 健介(兵庫県立大学),藤田 孝之(兵庫県立大学),前中 一介(兵庫県立大学)

著者名(英語): Motoki Tsukiyama(University of Hyogo),Akari Ujiie(University of Hyogo),Choji Hirota(University of Hyogo),Kensuke Kanda(University of Hyogo),Takayuki Fujita(University of Hyogo),Kazusuke Maenaka(University of Hyogo)

キーワード: ＩｏＴ|モノリシック融合|コンボセンサ|ローレンツ力|ＭＥＭＳ|磁気センサ|IoT|monolithic integration|combo sensor|Lorentz force|MEMS|magnetic sensor

要約(日本語): IoTのためのセンサシステムの集積化に向け，集積回路上に複数のMEMSセンサを作製するモノリシック融合により革新的な小型化を実現する．またこれは，信頼性向上・コスト削減にも繋がる．よって本稿では，モノリシック融合によるコンボセンサ実現を目指す．今回は，ローレンツ力を用いて磁界を検出する900 um角の振動型MEMS磁気センサを作製し，評価結果より設計値に近い感度を得ることができたので，報告する．

要約(英語): Recently, Internet of Things (IoT) has been attracted attention. It is necessary to integrate the sensor system, because IoT requires many sensors. One of the solution is monolithic integration technology of MEMS with CMOS. In this paper, we report fabrication and evaluation of Lorentz-force resonant magnetic sensor for realizing a combo sensor fabrication by monolithic integration.

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,290 Kバイト