P(VDF/TrFE)薄膜を用いた高周波型MEMS超音波センサ

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: PHS17018

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門 フィジカルセンサ研究会

発行日: 2017/06/30

タイトル(英語): High Frequency Type MEMS Ultrasonic Sensor Using P(VDF/TrFE) Thin Films

著者名: 田中 恒久(大阪産業技術研究所),村上 修一(大阪産業技術研究所),佐藤 和郎(大阪産業技術研究所),宇野 真由美(大阪産業技術研究所),山下 馨(京都工芸繊維大学)

著者名(英語): Tsunehisa Tanaka(Osaka Research Institute of Industrial Science and Technology),Shuichi Murakami(Osaka Research Institute of Industrial Science and Technology),Satoh Kazuo(Osaka Research Institute of Industrial Science and Technology),Mayumi Uno(Osaka Research Institute of Industrial Science and Technology),Kaoru Yamashita(Kyoto Institute of Technology)

キーワード: 超音波センサ|ＭＥＭＳ|Ｐ（ＶＤＦ／ＴｒＦＥ）|共振周波数|Ultrasonic sensor|MEMS|P(VDF/TrFE)|Resonant Frequency

要約(日本語): P(VDF/TrFE)薄膜を用いてMEMS超音波センサを作製した。センサ構造を最適化することにより共振周波数を高周波化することに成功したので報告する。

要約(英語): High frequency type MEMS ultrasonic sensor was fabricated using the poly(vinylidene fluoride-trifluoroethylene)[P(VDF/TrFE)] copolymer thin films having multilayer diaphragm structures.

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,103 Kバイト