共振型3軸磁気センサの設計

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: PHS18021

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門 フィジカルセンサ研究会

発行日: 2018/07/13

タイトル(英語): Design of 3-Axes Lorentz-Force Based Resonant Magnetic Sensor

著者名: 本郷 裕之(兵庫県立大学),月山 元貴(兵庫県立大学),氏家 朱理(兵庫県立大学),神田 健介(兵庫県立大学),藤田 孝之(兵庫県立大学),前中 一介(兵庫県立大学)

著者名(英語): Hiroyuki Hongoh(University of Hyogo),Motoki Tsukiyama(University of Hyogo),Akari Ujiie(University of Hyogo),Kensuke Kanda(University of Hyogo),Takayuki Fujita(University of Hyogo),Kazusuke Maenaka(University of Hyogo)

キーワード: ＭＥＭＳ|ＳｉＧｅ|コンボセンサ|モノリシック融合|磁気センサ|ＩｏＴ|MEMS|SiGe|combo sensor|monolithic integration|magnetic sensor|IoT

要約(日本語): IoTのためのセンサの集積度向上にむけて，慣性センサと同時作製可能である振動型磁気センサの設計を行った．加えてMEMS材料としてSiGeを用いることで回路とのモノリシック融合を実現し，信頼性向上，コスト削減を図る．本報告では3軸検出のための面外方向磁界を検出する磁気センサの設計を行い，真空封止を行うことで地磁気検出が可能であることを解析したのでこれを報告する．

要約(英語): By using SiGe as MEMS material, it is possible to fabricate a combo sensor by monolithic integration, and improve reliability and reduce costs for sensor devices. This paper describes the design and the FEA result that the magnetic sensing for out of plane magnet field.

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,517 Kバイト