エラストマ封止PZT/Siマイクロカンチレバー振動覚センサの試作評価

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: PHS18025

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門 フィジカルセンサ研究会

発行日: 2018/07/13

タイトル(英語): Fabrication and Characterization of Vibration Sensor with PZT/Si Microcantilever Embedded in Elastomer

著者名: 高橋 春暁(新潟大学),難波 勇太(新潟大学),安部 隆(新潟大学),寒川 雅之(新潟大学)

著者名(英語): Harutoshi Takahashi(Niigata University),Yuta Namba(Niigata University),Takashi Abe(Niigata University),Masayuki Sohgawa(Niigata University)

キーワード: 触覚センサ|振動覚|ＰＺＴ|カンチレバー|エラストマ|Tactile Sensor|Vibration Sensing|PZT|Cantilever|Elastomer

要約(日本語): 我々はこれまで、ひずみ検知部と圧電検知部を一つの構造に集積しエラストマで封止したセンサにより、圧覚と振動覚の情報を同時に得られることを、市販圧電フィルムとひずみゲージを用いたモデルを用いて示している。本研究では、それをMEMSセンサで実現することを目的として、まずは振動覚検知のためにPZT薄膜をマイクロカンチレバー上に積層した構造をエラストマで封止したセンサを作製し、その特性を評価したので報告する。

要約(英語): In our previous work, it is demonstrated that force and vibration can be detected by a cantilever with conventional strain gauge and piezoelectric film which is embedded in the elastomer. In this work, the Si microcantilever with PZT thin film has been fabricated and embedded in the elastomer for vibration sensing.

原稿種別: 日本語

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