テーパーピンチ型短波長プラズマ光源の動作特性

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: PPT0502

発行日: 2005/01/21

タイトル(英語): Characteristics of tapered capillary pinched-plasmas for EUV source

著者名: 菊池 淳史 中島 充夫 河村 徹 堀田 栄喜 堀岡 一彦()

著者名(英語): Kikushi Atsushi Nakajima Mitsuo Kawamura Tohru Hotta Eiki Horioka Kazuhiko()

キーワード: EUV光源|キャピラリー放電|Zピンチ|テーパキャピラリー|高エネルギー密度プラズマ

要約(英語): 【A】基礎・材料・共通部門　パルスパワー研究会

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,243 Kバイト