プラズマフォーカスによるEUV発生実験

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: PPT0503

発行日: 2005/01/21

タイトル(英語): EUV Generation by Plasma Focus

著者名: 久保田 有吾 横尾 知行 大嶋 伸明 江 偉華 八井 浄 徳地 明()

著者名(英語): Yogo Kubota Tomoyuki Yokoo Nobuaki Oshima weeihua Jiang Kiyoshi Yatsui Akira Tokuchi()

キーワード: パルスパワー|EUV|磁気パルス圧縮|プラズマフォーカス|光リソグラフィ

要約(英語): 【A】基礎・材料・共通部門　パルスパワー研究会

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 910 Kバイト