シャンティングアークアシストRF（195ｋHz）放電の発光スペクトル

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: PPT0507

発行日: 2005/01/21

タイトル(英語): The plasma characteristic of omnidirectional shunting arc discharge

著者名: 行村 建 江古 憲一 高木 浩一 向川 政治 藤原 民也()

著者名(英語): Kenichi Ego ken Yukimura Koichi takagi Seiji Mukaigawa tamiya Fujiwara()

キーワード: シャンディングアーク放電|PBII＆D法|アモルファスカーボン薄膜|メタンガス|プラズマ密度

要約(英語): 【A】基礎・材料・共通部門　パルスパワー研究会

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,018 Kバイト