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間欠ジルコニウムアークPBII&D法によるジル弧にア皮膜

間欠ジルコニウムアークPBII&D法によるジル弧にア皮膜

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カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: PPT0509

発行日: 2005/01/21

タイトル(英語): Zirconia Film preparation of intermittent Zirconium arc PBII&D

著者名: 義永 博章 行村 健 大津 康徳 藤田 寛治 中村 圭二 馬 欣新 佐々木 宗生()

著者名(英語): Hiroaki Yoshinaga ken Yukimura Yasunori Ohtsu Hiroharu Fujita Keiji Nakamura Xinxin Ma Muneo Sasaki()

キーワード: プラズマイオン注入|堆積|ジルコニア|コーディング|陰極アーク

要約(英語): 【A】基礎・材料・共通部門 パルスパワー研究会

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 860 Kバイト

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