パルス放電型短波長輻射プラズマ源の動作特性

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: PPT0511

発行日: 2005/05/20

タイトル(英語): Characteristic of a Discharge-Pumped-Plasma Raditional Source

著者名: 菊池 淳史 NASNAVI Najid 坂本 伸広 中島 充夫 堀田 栄喜 堀岡 一彦()

著者名(英語): Kikushi Atsushi NASNAVI Najid Sakamoto Nobuhiro Nakajima Mitsuo Hotta Eiki Horioka Kazuhiko()

キーワード: EUV光源|キャピラリー放電|Zピンチ|テーパキャピラリー|高エネルギー密度プラズマ

要約(英語): 【A】基礎・材料・共通部門　パルスパワー研究会

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,267 Kバイト