間欠ジルコニウムアークPBII&D法によるジルコニア皮膜

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: PPT0515

発行日: 2005/05/20

タイトル(英語): Characteristic of Zirconium Oxide Films Deposited with Plasma-Based Ion Implantation and Cathodic Arc disposition

著者名: 行村 健 小野 浩之 明石 周明 馬 欣新 佐々木 宗生()

著者名(英語): Ken Yukimura Hiroyuki Ono Shuhei Akashi Xinxin ma Muneo Sasaki()

キーワード: プラズマイオン注入|堆積|ジルコニア|コーディング|陰極アーク

要約(英語): 【A】基礎・材料・共通部門　パルスパワー研究会

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,366 Kバイト