レーザ生成プラズマからのEUV光および高速粒子放出特性

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: PPT06012

グループ名: 【A】基礎・材料・共通部門　パルスパワー研究会

発行日: 2006/02/06

タイトル(英語): Emission Characteristics of EUV Light and Fast Particles from Laser-Produced Plasma

著者名: 岡田 龍雄(九州大学),田中 博樹(九州大学),松本 篤(九州大学),橋本 祐樹(九州大学),高橋 昭彦(九州大学)

著者名(英語): Tatsuo Okada(Kyushu University),Hiroki Tanaka(Kyushu University),Atsushi Matsumoto(Kyushu University),Yuki Hashimoto(Kyushu University),Akihiko Takahashi(Kyushu University)

キーワード: 極端紫外光源|光リソグラフィ|レーザ生成プラズマ|スズ|レーザプラズマ計測

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 845 Kバイト