大電流パルスパワー電源を用いたEUV光源に関する研究

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: PPT06013

グループ名: 【A】基礎・材料・共通部門　パルスパワー研究会

発行日: 2006/02/06

タイトル(英語): EUV Source Development using a High-Current Pulsed Power Generator

著者名: 大嶋 伸明(長岡技術科学大学),久保田 有吾(長岡技術科学大学),横尾 知行(長岡技術科学大学),江偉華 (長岡技術科学大学),八井 浄(長岡技術科学大学),徳地 明(ニチコン株式会社)

著者名(英語): Nobuaki Oshima(Nagaoka University of Technology),Yugo Kubota(Nagaoka University of Technology),Tomoyuki Yokoo(Nagaoka University of Technology),Weihua Jiang(Nagaoka University of Technology),Kiyoshi Yatsui(Nagaoka University of Technology),Akira Tokuchi(Nichicon Corporation)

キーワード: パルスパワー|プラズマフォーカス|EUV

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 640 Kバイト